一、招标条件
本氧化膜等离子刻蚀设备（招标项目编号：0613-254022122071），已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为/，招标人为上海华虹宏力半导体制造有限公司。本项目已具备招标条件，现进行公开招标。
二、项目概况和招标范围
项目规模：- 。
招标内容与范围：/
本招标项目划分为标段1 个标段，本次招标为其中的：
001 氧化膜等离子刻蚀设备
三、投标人资格要求
001 氧化膜等离子刻蚀设备：
1、投标人应提供营业执照、资质证明、经营范围。
2、投标人应具有100台以上与本项目类似的相关行业项目业绩（须提供合同复印件或用户的书面证明）。
3、除设备原制造商以外的投标人应提供每一台设备的货源证明（机器序列号和铭牌照片）。
4、具有完善的售后服务制度和良好的售后服务记录，并能提供本地良好的支持服务。
5、本次招标不接受联合体投标。
本项目不允许联合体投标。
四、招标文件的获取
获取时间：2025年04月30日17时00分00秒---2025年05月12日17时00分00秒
获取方法：现场购买、电汇购买
五、投标文件的递交
递交截止时间：2025年05月21日09时30分00秒
递交方法：纸质递交
六、开标时间及地点
开标时间：2025年05月21日09时30分00秒
开标地点及方式：上海市长寿路285号恒达大厦10楼
七、其他公告内容
1、招标内容：
氧化膜等离子刻蚀设备 1台
上述设备具体的技术要求详见第五部分《技术需求书》。
2、交货地点：上海华虹宏力半导体制造有限公司指定交货地点。
3、交货期：不晚于2025年10月15日。
安装完成时间：不晚于2025年12月31日。
4、招标文件将在上海机电设备招标有限公司发售。
发售时间：2025年4月30日至5月12日；
每日9：00～11：30和13：30～16：00（北京时间，节假日除外）
发售地点：上海市长寿路285号恒达大厦16楼
5、招标文件售价：每套人民币500元，售后不退。
2025-04-30
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