扫描电子显微镜预公告

 

采购项目：扫描电子显微镜

 

关键技术要求：

1 电子光学系统

1.1 分辨率：不低于0.8nm（15kV）；不低于1.1nm（1kV），非样品台减速模式。

1.2 加速电压范围：包含200V~30kV。

1.3 镜筒内减速模式：低电压配备镜筒内电子束减速模式。

1.4 电子束流范围：3pA~20 nA，连续可调。

1.5 放大倍数：包含10 倍~1000,000 倍。

1.6 放大倍率连续可调，无需任何模式切换。

1.7 物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计。

1.8 物镜光阑：数量≥5 孔。

2 探测器系统

2.1 配备二次电子探测器。

2.2 配备镜筒内二次电子探测器；可获得高分辨的表面形貌像。

2.3 配备样品室内高分辨背散射电子探测器，以获取样品的成分对比信息。

2.4 彩色CCD 样品室观察系统；

3 样品系统

3.1 样品室尺寸：样品室直径≥310mm，高度≥275mm。

3.1.1 可装载最大样品直径：≥180mm。

3.1.2 可装载最大样品高度：≥70mm。

3.2 样品台类型：五轴优中心马达驱动样品台。

3.3 倾斜：不低于 -10º~70º；R＝360º，连续可调。

3.4 最大样品重量：五轴不低于500g。

3.5 样品台移动范围：＞10μm×10μm。

3.6 样品台移动范围X≥110mm；Y≥110mm；Z≥60 mm。

4 真空系统

4.1 样品室真空度：高真空模式不低于5×10-4Pa，电子枪真空度不低于2×10-7 Pa。

5 电镜控制与图像控制处理系统

5.1 最大存储图像分辨率不低于32K×24K 像素（非PS 放大）。

6 X 射线能谱仪

6.1 探测器：分析型SDD 硅漂移电制冷探测器，有效面积≥30mm2；高分子超薄窗设计。

6.2 能量分辨率：Mn Ka 保证优于129eV；以上探测器能量分辨率保证符合ISO 15632:2012 标准。

6.3 定量分析：具备KLM 全谱线系数据库，采用XPP 定量修正技术，配置20kV 及5kV 高低电压定量数据库，可覆盖不同电压下的定量分析。

7 高分辨EBSD

7.1 高速低噪音CMOS 相机，分辨率不低于1k*1k，并能够与各主流型号的电镜良好配合。

7.2 EBSD 在线解析最高标定速度优于400pps。

7.3 最佳取向精度≤0.05 度。

7.4 采用专门定制的光纤传导系统，光通量远大于透镜模组，特别适合弱信号分析。

7.5 采用主动式防碰撞传感器设计，在碰撞发生前探测器自动预警并后撤，起到保护EBSD 作用。

8 自动镶嵌机

8.1 最大加热温度≥200℃，实时温度实时显示。

8.2 加压方式为液压，最大压力≥400bar，压力可调。

8.3 支持制备φ30 的样品。

9 双盘台式自动磨抛机

9.1 制样数量：≥6 个。

9.2 试样直径支持φ30mm。

9.3 加载力方式：单点气动，每个样品单独施加压力。

9.4 标配6 工位滴液系统。

10 自动切割机

10.1 最大切割直径：≥80mm。

10.2 主轴转速：≥4000r/min，速度可调。

10.3 Y 向移动行程：≥220mm。

10.4 平台尺寸：≥570mm×470mm。

 

 有意向进行技术交流的潜在投标人可自本公告之日起至2026年7月20日，每天（节假日除外）北京时间9:00-16:00时与以下业务联系人通过电话或邮件沟通交流。

业务联系人：朱晓天

业务联系电话：15121036981

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